多功能扫描式X射线光电子能谱分析仪
多功能XPS包括外加AES, UPS, GCIB, C60, 真空传输管
独创的扫描式聚焦X-射线源
最强大的自动分析功能
专为高级材料研制而设计的
多功能、高性能、多技术融合的表面分析平台
X射线光电子能谱学（XPS）通过使用X射线光束照射固体样品的表面并收集从样本表面放射的光电子光谱，来提供表面
化学状态信息。通常，XPS测量的分析深度小于10 nm，同时取决于逸出光电子的动能。光电子光谱包含可用于识别被检
测元素化学状态的结合能信息。VersaProbe-II配备了通过XPS进行表面成分分析、薄膜分析和成像的工具。可选附件包
括紫外线光电子能谱、扫描俄歇电子光谱、GCIB团簇式离子源、碳60团簇式离子源等等。
仪器特点：

1.多功能XPS包括外加AES, UPS, GCIB, C60, 真空传输管
2.独创的扫描式聚焦X-射线源
3.最强大的自动分析功能