快速热处理（RTP）在半导体和铁电体以及其它薄膜器件的退火方面已经变成一项非常重要的技术。原来只有在大型昂贵的设备上才能做这样的工作，这使得研发工作更加困难，尤其是在小样品的应用上。

致力于这个实际需求，日本真空理工开发了这款紧凑桌面型的RTP系统，当配上可选的抽气和进气设备，MILA-5000在小型样品的加热/冷却方面拥有和大型设备相同级别的能力，却有着大型设备无法比拟的经济实用性。

深圳大学这次购入日本真空理工最新开发的MILA-5000热处理系统就是对这款设备性价比的充分认同。

MILA-5000的优异性能，详见所附资料。如您对此设备感兴趣，敬请垂询。